研究固态物质显微形貌、晶体结构和测量微小体的尺寸和形状，分析各种材料中各种成分的分布规律及其各种元素间的比例关系。

点分辨率0.23nm;线分辨率0.14nm；加速电压稳定度 ≤2X10-6/min，1.4 物镜电流稳定度 ≤1X10-6/min；物镜焦距≤2.3mm，球差系数 ≤1.0mm，色差系数≤1.4mm，焦距最小步长≤1.5nm；相机长度(挡数)：SA DIFF模式≥80-2,000mm(15)；样品倾斜角度: 土35°: 样品平移(X,Y): 2mm(1.0mm); 样品平移(Z):0.4mm(0.2mm)；X射线能谱分析：取出角≥25°；光纤耦合CCD，分辨率≥1100万像素，CCD像素面积≥18um X 18 um，视野面积≥72mm X 48mm；电制冷能谱探测器：场效应管(FET)内置的高速SDD芯片，探测器有效检测面积≥65mm2，可伸缩性探测器，可处理最大计数率≥200000CPS，最大输出计数率 > 950,000CPS，分辨率(Mn K线)：≤127eV(STD)，分辨元素范围：B5-U92

主要应用于物理、化学、生物、医学等领域，纳米材料分析。