XPS是进行样品表面元素组成及化学态分析的重要实验技术之一，其探测深度在10 nm以内，可检测元素周期表中除H, He以外的几乎所有元素。可做以下几个方面的分析研究： （1）对样品表面元素进行定性、定量分析； （2）可分析元素的化学状态（包括元素价态和化学环境等）； （3）对薄膜样品进行深度分布分析，给出元素随样品深度分布信息； （4）对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像。

（1）最佳能量分辨率0.45 eV； （2）最佳空间分辨率3 μm（XPS成像）； （3）单色光源最佳灵敏度：1600kcps(AlKα 0.60eVAg3d5/2峰)； （4）分析室最佳真空度可达5×10-10mbar；（5）离子枪束斑 150 μm。 （6）能量分析范围为0-5000eV;

（1）对样品表面元素进行定性、定量分析；（2）可分析元素的化学状态（包括元素价态和化学环境等）； （3）对薄膜样品进行深度分布分析，给出元素随样品深度分布信息； （4）对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分布图像。